兆声喷头

喷淋式兆声喷头清洗的原理是主要由于声压梯度、粒子速度及声流的作用，而空化效应是次要的，由高能频振效应并结合化学清洗剂的化学反应对硅片进行清洗的。清洗时不形成超声波清洗那样的气泡，而是利用高频声波能量在清洗液中形成的高速微水流连续冲击晶片表面，使物体表面附着的表面小于0.2μm污染物和细小颗粒被强制除去并进入到清洗液中。

可去除小于0.2um的微小颗粒
避免了空化现象可能引起的对物件表面的损伤
高密度的能量提供高效的清洗效果
线性方向的高速流动可以防止杂质重新附着在物件表面
全面非金属高防腐材质，适应各种酸碱及有机溶剂
第三代半导体技术的兆声发生器，全面实现数字化高频大功率驱动

英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

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