贴合式兆声清洗系统

贴合式兆声清洗系统 兆声波清洗技术不仅保存了超声波清洗技术的各项优点， 而且还克服了它的一些不足兆声波清洗技术的机理是由化学清洗剂的化学反应并结合高频振效应对硅片进行清洗。至今兆声波清洗方法已成为抛光片清洗中应用最广泛有效的一种方法。

清洗难度降低，清洗效率增加
可多区域工作，兼容8寸和12寸
化学品消耗量减少无化学污染产生
基体表面无损伤，控制硅及氧化层的厚度
无导电物质脱落风险

英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

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