光刻胶 喷胶技术 全解析：从传统到创新的工艺变革

在半导体制造与精密光刻领域，光刻胶喷胶技术是决定图案精度和产品良率的关键环节。随着行业对精细化要求不断提升，各类喷胶技术应运而生，各展所长。

传统喷胶技术：基础应用与局限

• 旋涂法：通过高速旋转基片，利用离心力将光刻胶均匀铺开。操作简便、成本低，但胶液浪费严重，难以控制厚度，对复杂结构的涂覆效果差，不适用于高深宽比图形制作。
• 浸涂法：将基片浸入光刻胶溶液后缓慢提拉，依靠表面张力形成胶膜。工艺简单，适合大面积均匀涂布，但涂层厚度不易精准调节，且胶液回收困难，易造成污染和材料浪费 。

新兴喷胶技术：突破与革新

• 气体雾化喷涂：利用压缩空气将光刻胶雾化后喷向基片。相比传统方法，雾化颗粒更细，可实现一定程度的均匀涂布，但气流不稳定会导致液滴大小不均，影响涂层一致性，且对高粘度光刻胶雾化效果不佳。
• 超声波喷涂：借助高频超声振动将光刻胶裂解为均匀细小的雾滴。其产生的液滴尺寸分布窄、雾化效果好，可精准控制涂层厚度，涂胶均匀性显著提升。尤其适用于高精度、低缺陷的光刻工艺，如半导体芯片制造 。在处理复杂曲面或高深宽比结构时，超声波喷涂能确保光刻胶均匀覆盖，减少边缘效应，为后续光刻步骤提供优质基底 。

不同光刻胶喷胶技术各有优劣。传统技术适用于要求较低的场景，而新兴技术，特别是超声波喷涂技术，凭借高精度、高均匀性和广泛的适用性，在先进光刻领域展现出强大优势。随着半导体技术向更高制程迈进，高精度、智能化的喷胶技术将成为行业发展的核心驱动力，推动光刻工艺不断革新升级 。

关于驰飞

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杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。

英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

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