兆声清洗喷头 - 晶圆清洗 - 兆声喷头 - 驰飞兆声清洗系统

兆声清洗喷头

兆声清洗喷头 是将兆声换能器嵌入到喷嘴中,以喷嘴的形式对被清洗物如晶圆等进行清洗。它的优势在于可点对点的直接对被清洗物表面进行处理,可让声能焦点直接处于被清洗物表面,然后再通过运动来实现整个二维平面的清洗。

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兆声清洗喷头的特点及优势
1.单点喷淋式兆声清洗,相比传统槽式清洗,可解决清洗液二次污染问题。
2.极低的超声空化效应,不会对器件表面造成损伤
3.超高清洗精度,可去除物体表面0.2微米的污渍颗粒
4.全面非金属高防腐材质,适应各种酸碱及有机溶剂
5.石英或蓝宝石匹配层技术,无杂质脱落到器件上的风险
6.独特的换能器贴合技术,更高的稳定性和耐久性
7.第三代半导体技术的兆声发生器,全面实现数字化高频大功率驱动

英文网站:CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

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