芯片制造中的重要仪器 – 超声波薄膜喷涂设备 – 驰飞超声波喷涂

芯片制造中的重要仪器

芯片制造中的重要仪器 – 超声波薄膜喷涂设备 – 驰飞超声波喷涂

湿电子化学品指为微电子、光电子湿法工艺(主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、互联等)制程中使用的各种电子化工材料。按用途可分为通用化学品(又称超净高纯试剂)和功能性化学品(以光刻胶配套试剂为代表)。

其中超净高纯试剂需求量占比达88%,占比的依次是,硫酸、双氧水、氨水、氢氟酸、异丙醇、硝酸以及磷酸;功能性化学品占比达12%,占比依次是,半导体用显影液、刻蚀液、面板用显影液、剥离液以及缓冲刻蚀液。

芯片制造中的重要仪器 - 超声波薄膜喷涂设备 - 驰飞超声波喷涂

通用湿电子化学品

硫酸铈法测定双氧水含量
仪器配置:电位滴定仪,DMi140-SC氧化还原电极,DV1010滴定管

功能性湿电子化学品

显影液-四甲基氢氧化铵测定
仪器配置:电位滴定仪,DGi111-SC/DGi115-SC酸碱滴定电极,DV1020滴定管。

缓冲刻蚀液-氟化铵和氢氟酸测定
仪器配置:电位滴定仪,DGi111-SC/DGi115-SC酸碱滴定电极,DV1010滴定管

铝刻蚀液-硝酸、磷酸、醋酸,三元混酸含量的滴定
仪器:电位滴定仪+DGi113-SC非水酸碱滴定电极

DispenSix全自动取样、在线滴定系统

在线分析系统所有化学分析部件均采用模块化设计,分析模块设计及材料选用完全耐腐的高性能材料如:玻璃, PTFE, PVDF 和 FEP。在实际运用中,用户可以根据检测指标进行配置,并根据工厂生产要求自行设定最适宜的分析周期。自动采集样品和分析测定,分析过程结束后,仪器自动用去离子水冲洗反应杯,将分析结果显示到仪器屏幕,并通过以太网将数据传输至中控室LabX软件工作站。同时labX工作站还可以实现与LIMS、ERP等系统的数据对接,真正实现24小时无人值守的监控。

全自动高精度取样单元Liquid Handler是一个有6个阀门的滴定管功能,可以精准吸液、溃液和准备,可在生产线上实时监控槽液酸、碱、铜离子等含量。下面是Liquidhandler分别在线测定六价铬的和在线测定铀含量的方案,可见梅特勒托利多在线滴定系统的多元化。

模块化的设计,任意零部件磨损或者老化可以进行更换和维修,维修方便简单,经过培训,客户可以自己进行更换和维修。

现今,中国已成为全球最大的半导体消费市场。物联网、5G通信、人工智能等下一轮终端需求,为中国大陆半导体产业发展创造了新的机遇。我们在电子湿化学品的应用方法和案例非常丰富,可以提供多种解决方案。

超声波喷涂具有精细可控喷涂流速、涂敷涂层薄且均匀、喷涂范围可控等优势非常适用于喷涂电子产品,并越来越多地用于研究和生产。超声喷涂技术可用于任何宽度的基材上沉积均匀的涂层。超声波喷涂技术能够以极高的均匀性制造这些非常薄的涂层,获得精细和可重复的结果,以提高产品的功能。

英文网站:CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION