超声喷雾热解ZnO薄膜
超声喷雾热解ZnO薄膜。 超声喷雾热解是这样一种方法,其中通过用超声雾化器将溶液喷雾到加热表面上来沉积纳米结构,其中组分反应形成所需的化合物。 与常规方法相比,超声喷雾热解法提供了诸如设备成本低,在大面积上具有良好的厚度均匀性,低温和加工中的低真空要求等优点。 已经报道了通过使用超声喷雾热解在Si衬底上生长的ZnO薄膜,以及通过使用Au催化剂的超声喷雾化学气相沉积来生长ZnO纳米棒。
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