光刻胶喷涂在玻璃上

光刻胶喷涂在玻璃上 – 超声波喷头系统 – 驰飞超声波喷涂

在微纳制造领域，玻璃作为一种性能稳定、透光性好的基础材料，广泛应用于半导体芯片、光学器件等产品的生产。而光刻胶喷涂质量，直接决定着后续光刻工艺的精度与产品良率。传统喷涂方式在玻璃表面光刻胶涂布上存在诸多局限，驰飞的超声波喷头系统凭借创新技术，为玻璃光刻胶喷涂带来了全新解决方案。

玻璃表面光滑平整，对光刻胶的均匀涂布要求极高。光刻胶作为光刻工艺的关键材料，其涂层厚度、均匀度以及边缘精度，都会影响到图案转移的准确性。若光刻胶涂层不均，会导致光刻图案变形、线条模糊，严重影响产品性能。在半导体芯片制造中，纳米级别的精度要求使得光刻胶喷涂难度剧增。

传统的光刻胶喷涂方法，如旋涂、狭缝涂布等，存在涂层厚度难以精确控制、材料浪费严重等问题。旋涂时，光刻胶在离心力作用下分布不均，边缘与中心厚度差异明显；狭缝涂布则对设备精度要求极高，且难以适应复杂形状的玻璃表面。驰飞的超声波喷头系统，通过高频超声波将光刻胶雾化成直径仅几微米的微小液滴，这些液滴在精准气流的引导下，均匀地沉积在玻璃表面。

超声波喷头系统的优势显著。其一，可实现纳米级的涂层厚度控制，通过调节超声频率、喷涂时间等参数，能精准满足不同工艺需求。在制造高端光学滤光片时，利用该系统喷涂光刻胶，可使涂层厚度误差控制在 ±5 纳米以内，大幅提升产品光学性能。其二，其非接触式喷涂方式，避免了喷头与玻璃表面的物理接触，防止因摩擦产生划痕或静电吸附杂质，有效提高产品良率。同时，超声波喷头系统还具备出色的材料利用率，相比传统方式可减少约 30% 的光刻胶浪费，降低生产成本。

在实际应用中，超声波喷头系统已在多个领域展现强大实力。在柔性显示面板制造中，针对曲面玻璃的光刻胶喷涂，该系统能够完美贴合玻璃弧度，实现均匀涂布，助力企业生产出高分辨率、色彩鲜艳的柔性屏幕。

随着微纳制造技术向更高精度迈进，对玻璃光刻胶喷涂工艺的要求也日益严苛。驰飞的超声波喷头系统以其卓越性能，为行业发展提供了可靠保障，将持续推动微纳制造工艺的革新与进步。

关于驰飞

驰飞的解决方案是环保、高效和高度可靠的，可大幅减少过量喷涂，节省原材料，并提高均一性、转移效率、均匀性和减少排放。为企业提供围绕功能涂层的全套解决方案及长期技术支持，保证客户涂层稳定量产；针对特殊器械涂层需求，提供涂层定制研发服务；提供各类涂层代工服务。

杭州驰飞是超声镀膜系统开发商和制造商，产品主要应用于燃料电池质子交换膜喷涂、薄膜太阳能电池、钙钛矿、微电子、半导体、 纳米新材料、玻璃镀膜、 生物医疗、纺织品等领域。

英文网站：CHEERSONIC ULTRASONIC COATING SOLUTION

驰飞提供专业涂层解决方案：https://www.cheersonic-liquid.cn/