光刻胶薄膜的沉积
光刻胶薄膜的沉积 – 涂覆光刻胶平面化 – 光刻胶涂布方式 – 驰飞超声波喷涂
新的UAM6000系统是一种全涂层解决方案，根据涂层要求配置超声波喷雾成型喷嘴。这些喷嘴具有高达90%的材料消耗减少、无堵塞性能、精确控制液滴尺寸以及在超低流速下可重复的喷雾模式。
UAM6000独特的系统功能包括：
·具有配方存储的自动喷涂
·设计用于100、150、200和300mm晶圆
·精密温度控制
·集成晶片锁定
·简单的手动操作员加载/卸载设计
·高重复性光刻胶输送泵，带自动再填充
·手动晶片加载/卸载
·高度可重复、稳定的过程
