功率半导体概述
功率半导体概述 – 光刻胶喷胶机 – 超声喷涂机 – 驰飞超声波喷涂
（一）功率半导体简介
按照产品功能分工，半导体芯片和器件主要有两大核心功能，其一是对电子信息进行管理（包括计算、存储、传输等），相当于电子整机的大脑和神经，代表性的产品有处理器、存储器、传感器等；而另一功能是对于电能的管理（包括整流、控制、放大等），相当于电子整机的心脏和肌肉。所谓功率半导体，就是对电能进行管理的半导体产品。功率半导体是电子整机中不可或缺的组成部分，不仅具有极高的技术价值，还具有可观的经济价值。据统计，2020年全球功率半导体营收约为430亿美元，占到全球半导体产品总营收的10%。
（二）功率半导体分类
根据产品形态区分，功率半导体可分为两大类，其一是功率集成电路，典型产品为电源管理芯片和各类驱动芯片，属于半导体产品中的集成电路，其二是功率半导体器件，简称“功率器件”，又称电力电子器件，属于半导体产品中的分立器件。功率集成电路和功率器件共同组成规模数百亿美元的功率半导体市场，其重要性相当，市场规模也比较接近，基本上稳定在各占一半的比重。
超声喷涂系统可以使用先进的喷涂技术来精确控制流速、镀膜速度和沉积量。低速喷涂成型将雾化喷涂定义为精确，可控的图案，在生产非常薄且均匀的涂层时避免过度喷涂。事实证明，使用超声波技术进行喷涂是在3D微结构上沉积光致抗蚀剂的可靠且有效的方法，从而减少了由于过多的金属暴露于蚀刻剂而导致的设备故障。
超声波喷涂系统已被证明适用于需要均匀、可重复的光致抗蚀剂或聚酰亚胺薄膜涂层的各种应用。杭州驰飞的喷涂系统可以控制从亚微米到100微米以上的厚度，并且可以涂覆任何形状或尺寸。它是其他涂层技术（例如旋涂和传统喷涂）的可行替代方案。
杭州驰飞的无阻塞超声涂层技术以其功能性和保护性材料的超薄微米涂层而闻名。喷嘴的超声振动有效地将颗粒分散在悬浮液中，并在薄膜层中产生非常均匀的颗粒分散，而导电颗粒没有从悬浮液中沉降出来。
在过去的十年中，对半导体进行了直接喷涂光刻胶涂层，并且对喷涂结果进行了深度研究，超声喷涂的光刻胶涂层显示出优于传统的旋涂。超声波喷涂是一种简单、经济和可重复的工艺，用于光刻晶圆加工中的喷涂光刻胶涂层。超声波喷涂系统可对流速、沉积速度和沉积量进行精细控制。低速喷雾成形，避免过喷，同时产生非常薄且均匀的涂层。
